设立外资企业审批权限归中华人民共和国对外贸易经济合作部负责。
《中华人民共和国外资企业法实施细则》
第七条
设立外资企业的申请，由中华人民共和国对外贸易经济合作部(以下简称对外贸易经济合作部)审查批准后，发给批准证书。
设立外资企业的申请属于下列情形的，国务院授权省、自治区、直辖市和计划单列市、经济特区人民政府审查批准后，发给批准证书：
(一)投资总额在国务院规定的投资审批权限以内的;
(二)不需要国家调拨原材料，不影响能源、交通运输、外贸出口配额等全国综合平衡的。
省、自治区、直辖市和计划单列市、经济特区人民政府在国务院授权范围内批准设立外资企业，应当在批准后15天内报对外贸易经济合作部备案(对外贸易经济合作部和省、自治区、直辖市和计划单列市、经济特区人民政府，以下统称审批机关)。
第八条 申请设立的外资企业，其产品涉及出口许可证、出口配额、进口许可证或者属于国家限制进口的，应当依照有关管理权限事先征得对外经济贸易主管部门的同意。
第九条 外国投资者在提出设立外资企业的申请前，应当就下列事项向拟设立外资企业所在地的县级或者县级以上地方人民政府提交报告。报告内容包括：设立外资企业的宗旨;经营范围、规模;生产产品;使用的技术设备;用地面积及要求;需要用水、电、煤、煤气或者其他能源的条件及数量;对公共设施的要求等。
县级或者县级以上地方人民政府应当在收到外国投资者提交的报告之日起30天内以书面形式答复外国投资者。
第十条 外国投资者设立外资企业，应当通过拟设立外资企业所在地的县级或者县级以上地方人民政府向审批机关提出申请，并报送下列文件：
(二)可行性研究报告;
(三)外资企业章程;
(四)外资企业法定代表人(或者董事会人选)名单;
(五)外国投资者的法律证明文件和资信证明文件;
(六)拟设立外资企业所在地的县级或者县级以上地方人民政府的书面答复;
(七)需要进口的物资清单;
(八)其他需要报送的文件。
前款(一)、(三)项文件必须用中文书写;(二)、(四)、(五)项文件可以用外文书写，但应当附中文译文。
两个或者两个以上外国投资者共同申请设立外资企业，应当将其签订的合同副本报送审批机关备案。
第十一条 审批机关应当在收到申请设立外资企业的全部文件之日起90天内决定批准或者不批准。审批机关如果发现上述文件不齐备或者有不当之处，可以要求限期补报或者修改。
第十二条 设立外资企业的申请经审批机关批准后，外国投资者应当在收到批准证书之日起30天内向工商行政管理机关申请登记，领取营业执照。外资企业的营业执照签发日期，为该企业成立日期。
外国投资者在收到批准证书之日起满30天未向工商行政管理机关申请登记的，外资企业批准证书自动失效。
外资企业应当在企业成立之日起30天内向税务机关办理税务登记。
第十三条 外国投资者可以委托中国的外商投资企业服务机构或者其他经济组织代为办理本实施细则第八条、第九条第一款和第十条规定事宜，但须签订委托合同。
《中华人民共和国外资企业法实施细则》
第十四条
(一)外国投资者的姓名或者名称、住所、注册地和法定代表人的姓名、国籍、职务;
(三)经营范围、产品品种和生产规模;
(四)拟设立外资企业的投资总额、注册资本、资金来源、出资方式和期限;
(六)采用的主要生产设备及其新旧程度、生产技术、工艺水平及其来源;
(七)产品的销售方向、地区和销售渠道、方式;
(八)外汇资金的收支安排;
(九)有关机构设置和人员编制，职工的招用、培训、工资、福利、保险、劳动保护等事项的安排;
(十)可能造成环境污染的程度和解决措施;
(十一)场地选择和用地面积;
(十二)基本建设和生产经营所需资金、能源、原材料及其解决办法;
(十三)项目实施的进度计划;
总的来说，外资企业的设立过程是比较繁琐的，比如外国投资者在我国境内设立外资企业的时候，需要向当地人民政府提交可行性研究报告，外国投资者的资信证明，以及需要进口的一些物资清单等材料。
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